相应位移传感器
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制造商
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型 号
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分辨率
[μm]
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最高速度
(m/s)*3
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并联型(AB相)
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通 用
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—
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最大速度4倍频后4 Mpps
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串联型(增量式)
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Nidec Sankyo Corporation
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PSLH
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0.1
|
6
|
Magnescale Co., Ltd.
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SL700-PL101RP/RHP
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0.1
|
10
|
SL710-PL101RP/RHP
|
0.1
|
10
|
SR75
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0.01~1
|
3.3
|
SR85
|
0.01~1
|
3.3
|
BF1
|
0.001/0.01
|
0.4/1.8
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串联型(绝对式)
|
Heidenhain Corporation
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LIC2197P/LIC2199P
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0.05/0.1
|
10
|
LIC4193P/LIC4195P
LIC4197P/LIC4199P
|
0.001
/0.005
/0.01
|
10
|
Magnescale Co., Ltd.
|
SR77
|
0.01~1
|
3.3
|
SR87
|
0.01~1
|
3.3
|
Mitutoyo Corporation
|
AT573A
|
0.05
|
2.5
|
ST778A(L)
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0.1
|
5
|
Renishaw plc
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RESOLUTE
|
0.001
|
0.4
|
0.05
|
20
|
0.1
|
40
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Fagor Automation S.Coop 生产
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SAP / SVAP / GAP
|
0.05
|
2.5
|
LAP
|
0.1
|
2
|
SAP10/SVAP10/GAP10
|
0.01
|
3
|
LAP10
|
0.01
|
2
|
*3 最高速度因驱动器的特性而有所不同,同时受机器构造及系统构造的影响而有所限制。